質(zhì)量流量控制器可以測量和控制各種氣體的質(zhì)量流量和標(biāo)況流量，產(chǎn)品的主要優(yōu)點為無需溫壓補償，測量的準確度高，響應(yīng)速度快。是基于流體流動的節(jié)流原理，利用流體流經(jīng)節(jié)流裝置時產(chǎn)生的壓力差而實現(xiàn)流量測量的。

　　快速的控制響應(yīng)不僅能確保設(shè)備迅速到達設(shè)定值，同時還能維持穩(wěn)定的流量，以避免受到壓力波動的影響。毫無疑問，一臺設(shè)備的響應(yīng)速度對測量精度及穩(wěn)定的流量控制有著至關(guān)重要的作用。

　　物理時間常數(shù)：物理時間常數(shù)用希臘字母Tau來表示，是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來描述響應(yīng)時間的標(biāo)準之一，即：控制器到達設(shè)定值某個百分比所需要的時間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對數(shù)底數(shù)的無理數(shù)，其值為2.72，所以1-1/e即為設(shè)定值的63.2%。雖然該定義是一個物理標(biāo)準，可能說明不了什么問題，因為余下的設(shè)定值的36.8%所花費的時間可能多于或少于之前的63.2%。

　　任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域：不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來定義設(shè)備響應(yīng)速度，比如：從設(shè)定值的10%到達90%所需要的時間。由于10%控制響應(yīng)曲線變化大，由此而得出的控制響應(yīng)速度可能無法與實際的控制性能等同。

　　穩(wěn)定時間：由于到達設(shè)定值后控制器可能會發(fā)生超調(diào)，所以通常制造商用到達設(shè)定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設(shè)備響應(yīng)速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉例， 容許范圍2%表示流量波動在設(shè)定值的2%以內(nèi)即為穩(wěn)定。一般質(zhì)量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。如果用戶要將流量控制在期望的設(shè)定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也須落在設(shè)備精度范圍內(nèi)。